中藥超微粉碎設備種類繁多，目前應用的主要有3大類：振動磨、氣流式超微粉碎機、機械式超微粉碎機。因為振動磨工作效率高，氣流粉碎機在粉碎過程中對物料無污染、產品細度高，所以這2種設備應用較為廣泛。
1、振動磨
振動磨即高頻振動式超微粉碎設備，其工作原理是：用彈簧支撐機體，由帶有偏心塊的主軸使其振動，運轉時通過介質和物料一起振動粉碎研磨物料。其特點是介質填充率高，單位時間內的作用次數多，粉體粒徑小，分布均勻，適用于大部分中藥材的粉碎。此設備還可以與低溫技術結合，得到粒徑分布窄，流動性好的超微粉，解決了振動磨的升溫問題。目前應用較廣泛的振動磨是青島微納JZC系列分級式沖擊磨。
2、氣流式超微粉碎機
氣流粉碎機又稱氣流磨，其工作原理是：超音速氣流使物料粒子相互激烈碰撞、摩擦，且氣流對物料有直接的剪切作用，再通過適當分級達到粉碎的目的。此類設備粉碎過程中無伴生熱量，粉碎溫度低，適用于低熔點和熱敏性藥材，粉碎粒度可達1～10μm，且對物料無污染，是目前能達到的最細的物理加工方法。
目前，氣流粉碎機分為扁平式、單噴式、循環管式、對噴式及流化床式5種。
3、機械式超微粉碎機
機械式超微粉碎機的工作原理是：通過機械零件和介質的高速運動對原藥材粉體施加沖擊、剪切等外力達到粉碎目的。此設備的優點是簡捷方便，進料適用粒徑范圍大。缺點是設備易升溫，物料粉碎得越細零件磨損越嚴重，且粉體細度最高只能達到20μm。因此限制了此設備的廣泛應用。
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